物理百科知识点-涡轮分子泵讲解

我们在学习物理的时候，应该多注重一些基础的学习，只有积累了大量的基础知识，才能为物理更深入的学习打好基础。所以同学们在平时要多积累一些物理的小知识。下面给大家带来了物理百科知识点-涡轮分子泵讲解，大家来做一些相关的了解吧!

涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。

涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。

历史沿革

1955年，联邦德国的Willi.Becker首次提出有实用价值的涡轮分子泵，以后相继出现了各种不同结构的分子泵。

结构组成

涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子(即动叶轮)、静叶轮和驱动系统等组成。

工作原理

动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度(一般为150~400米/秒)。单个叶轮的压缩比很小，涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同,但叶片倾斜角相反。右图为20个动叶轮组成的整体式转子。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙,动叶轮可在静叶轮间自由旋转。

性能特点

性能

泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮(或空气)的压缩比为10~10;对氢为10~10;对分子量大的气体如油蒸气则大于10。

泵的极限压力为10Pa，工作压力范围为10~10Pa，抽气速率为几十到几千升每秒(1L=10m)。

涡轮分子泵必须在分子流状态(气体分子的平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态)下工作才能显示出它的优越性，因此要求配有工作压力为1~10Pa的前级真空泵。

分子泵本身由转速为10000~60000转/分的中频电动机直联驱动。

给大家准备的物理百科知识点-涡轮分子泵讲解，就是希望大家能够掌握住这些知识点，同时能够多关注我们学大有关物理知识的文章。